该厂为85英寸晶圆生产的线设施的超蒸馏水系统软件，定期引发含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅含铁高易积垢，且功率电阻率需达成18MΩ·cm功能鑫霖环保废水净化处理。固有净化处工院艺不能满足了新颁布实施的《光学鑫霖环保水影响物进行相关摆放标准的》（GB39731-2020）专门进行摆放卫生防护距离。 废水处理化学物质优势特点 注意危害物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒度分布0.1-1μm） 特异追求 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 水污染性能特点 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质要素较为复杂 正确处理施工工艺步奏 去创新用到"梯级膜破乳+电去铁离子"团体工艺设计： 微滤预整理 ：1μm陶瓷图片膜拦住大颗粒剂硅，通量保护80LMH 铝离子互换硅胶粘合剂 ：D201大孔不饱和树脂选定性气体吸附硅酸团伙 中级RO操作系统 ：第一名段环保再生资源回回收利用率60%，2段主要包括高脱硼膜元器件封装 EDI电去铝离子 ：瞬时电流密度计算公式2A/m²，持继祛除稳定度正离子 紫外线消菌 ：254nmUV直射线的用药量40mJ/cm² 技术性特色 搭建专业化阻硅剂（有机质胺类结合物），延长时间膜空气污染期限3倍 EDI包块自主创新流道结构设计，硅洗去率提升自己至99.8% 百度在线硅数据分析仪器（在线测量规模0.1-500μg/L）确保精准定位抑制 运营功效 经三、方在线检测： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L降落到0.3μg/L 系统性环保再生资源回产出率从原40%加快至68% 膜调换定期提升至5年，年操作成本价大大减少35%