该典型案例来华东划分地区划分全家大形半导体设备制造技术中小型公司,一般出产智能家居控制用电线路存储芯片。在出产阶段中,晶圆洗、蚀刻等程序需用过多网络级磷酸(溶解度≥85%),对此诞生高渗透压含磷废液。中小型公司增加了整理配套设施始终无法 需求愈发要严的排污标淮(TP≤0.5mg/L),亟需晋升提升。
生产废水化学成分及因素
电镀废气最主要收入于几个方面:晶圆清理电镀废气(占总储水量60%)、装置擦洗电镀废气(30%)各类地坪擦洗电镀废气(10%)。环境质量的特点体现为:pH值1.5-2.5,总磷质量浓度800-1200mg/L,氟铁离子含氧量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有少量高价属(铜、锌等)。
处里生产技术流程步骤
该项目用于"预清理+化学式沉淀物+高等阳极氧化+广度过滤装置"的组合名字生产工艺:
控制池
:均等化水质检测容量,安装有pH线上监控设计
一級不良反应池
:添加石粉乳可以调节pH至8.5-9.0,进行Ca3(PO4)2沉定
二级考试想法池
:加入PAC和PAM提升斜管沉淀池实际效果
斜板发展池
:保持固液分離,淤泥走进缺水系统
Fenton氧化的模块
:H2O2与Fe²⁺协作的功效可降解有机会物
多物料过滤装置器
:石英砂砂+渗透性炭组合公式过滤装置,以保证水流清辙
阴阳离子相互交换模式
:进的一步快速清理残余物金属材料正离子
最终能够目的
模式运作动态平衡后,出水量水的硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阳离子≤5mg/L,多种指标图强于《电子为了满足电子时代发展的需求,工业化的水水空气污染物摆放标准》(GB 39731-2020)。每一年的减掉磷摆放约15吨,污泥干化生产量较经典工序减小40%,运作价格把握在8.3元/吨水。